http://infrared-heat-home.com/de/tags/frei/ Recent content in Frei on Modern Infrared Home Heating Hugo de Fri, 26 Jun 2026 01:51:35 +0800 http://infrared-heat-home.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 01:51:35 +0800 http://infrared-heat-home.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Ozonfreie Infrarotlampe"></p> <p>Im Bereich der Lithografie ist die Wiederholgenauigkeit bei der Erhitzung des Fotorezists keine zusätzliche Eigenschaft – sie ist vielmehr ein entscheidender Bestandteil des Prozesses. Eine Abweichung von 2 °C während der Weich- oder Härterhitzung kann dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen beeinträchtigt wird. Zudem kann bereits ein einziger Partikel den gesamten Produktionslot ruinieren. Deshalb haben wir Infrarotlampen ohne Ozon entwickelt, um diese Probleme auszuschließen.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong> Diese Lampen arbeiten im Nahinfrarotbereich und ohne Ozongenerierung. Dadurch entfällt die Notwendigkeit für einen Katalysator sowie die damit verbundenen Wartungsarbeiten. Im beleuchteten Bereich bleibt die thermische Homogenität der Waferoberfläche bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit zwischen verschiedenen Chargen liegt bei ±0,2 °C.</p>