IR on Modern Infrared Home Heating

Keramische Endkappe für IR Emitter

Fri, 24 Jul 2026 09:48:42 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum Goldreflektoren wirklich wichtig sind
In den Waferfabriken zählt jeder Watt. Wenn man nur einen Standard-IR-Emitter verwendet, entsteht ein Problem: Der Emitter sendet Energie in alle Richtungen aus. Doch der Wafer befindet sich nur auf einer Seite. Ohne einen festen Reflektor sowie eine ordentliche Abschirmung wird die Energie eigentlich zum Heizen des Maschinengehäuses verwendet – anstatt des Produkts selbst. Das ist doch Verschwendung.

Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren. Das ist eine einfache Lösung, mit der alle verschwendeten Energien wieder auf das Ziel gerichtet werden können.

Präziser IR Sensor für Wafern

Thu, 23 Jul 2026 10:03:49 +0800

Hören Sie auf, Energie an die Wände der Geräte zu verschwenden
Das Erwärmen einer Siliziumwafer erfordert eine enorme Menge an Energie. Das Problem ist jedoch: Die meisten Infrarotlampen strahlen diese Energie in alle Richtungen ab. Das ist eine Verschwendung. Wenn die Lampen in alle 360 Grad strahlen, nehmen die Innenseiten der teuren Maschinen diese überschüssige Energie auf. Dadurch werden die Gehäuse der Maschinen sehr heiß – was für die Bediener eine Qual darstellt. Zudem müssen die Kühlsysteme härter arbeiten, damit nichts schmilzt.

Aluminiumreflektor für IR Lampe

Thu, 04 Jun 2026 01:12:44 +0800

Auf dem Lithographie-Floor kennen Sie das Prozedere. Eine Temperaturschwankung von 1°C während des Photoresist-Backens reicht aus, um ein komplettes Los auszuschießen. Die Temperaturregelung muss wie ein Sollwert funktionieren, nicht wie eine Unbekannte. Deshalb haben wir den Aluminium-IR-Reflektor für Halbleiter-Heizungen entwickelt, bei denen der Ertrag von der Wiederholgenauigkeit abhängt.

Technisch relevante Aspekte
Wir passen die Geometrie und Oberflächenbeschaffenheit des Reflektors so an, dass eine Gleichmäßigkeit von ±0,1°C über das Wafer erreicht wird, sodass Ihr thermisches Budget während Softbake und Hardbake stabil bleibt. Er ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet, und das partikelkontrollierte Design verhindert Kontaminationen im Prozessraum. Die Material- und Beschichtungsstrategie sorgt für niedrige Ausgasung und eine konstante Reflexion über tausende Stunden, sodass die Lampenleistung nicht driftet und die thermische Wiederholgenauigkeit erhalten bleibt.