Reflektor on Modern Infrared Home Heating

Reflektor für Wachsplatten Aushärtungslampe

Fri, 17 Jul 2026 02:18:01 +0800

Hören Sie auf, die Wärme aus den Heizlampen einfach überallhin entweichen zu lassen.
Das Problem mit IR-Lampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. In einer Halbleiter-Heizzelle ist jede Energie, die nicht auf die Wafer trifft, im Grunde verschwendet. Doch das ist noch nicht das Schlimmste: Die überschüssige Wärme belastet die Innenwände der Geräte. Wenn die Gehäuse der Maschinen so heiß werden, dass sie jemanden verletzen könnten, dann handelt es sich nicht um ein Heizproblem – sondern um ein Orientierungsproblem.

Infrarotlampe mit Goldreflektor

Sun, 12 Jul 2026 06:16:12 +0800

Warum der Goldreflektor-Infrarotstrahler das Geheimnis für eine bessere Härtung von Halbleitern ist
Die alte Methode – Trocknen mit Lösungsmitteln sowie Verwendung großer Konvektionsöfen – funktioniert heutzutage einfach nicht mehr. Alle streben nach „grünen“ und bleifreien Lösungen – doch die eigentliche Herausforderung besteht darin, dies ohne Verlangsamung der gesamten Fertigungskette zu erreichen.
Dabei kommt die Infrarotbehandlung ins Spiel. Doch hier liegt das Problem: Ein einfacher Heizelement reicht nicht aus. Man benötigt einen Goldreflektor-Infrarotstrahler.

Die Magie des Goldes
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch diese saugen zu viel Energie auf. Das ist verschwenderisch. Gold hingegen reflektiert etwa 98 Prozent der Infrarotenergie direkt zurück auf den Wafer. Dadurch entsteht eine intensive, konzentrierte Wärmezone genau dort, wo sie benötigt wird. Der Vorteil: Das ganze Maschinengehäuse wird nicht erhitzt, und es wird keine Energie für die Luft um das Bauteil verschwendet. Dadurch bleibt die Größe der Anlage klein und die Stromkosten gering.

Aluminiumreflektor für IR Lampe

Thu, 04 Jun 2026 01:12:44 +0800

Auf dem Lithographie-Floor kennen Sie das Prozedere. Eine Temperaturschwankung von 1°C während des Photoresist-Backens reicht aus, um ein komplettes Los auszuschießen. Die Temperaturregelung muss wie ein Sollwert funktionieren, nicht wie eine Unbekannte. Deshalb haben wir den Aluminium-IR-Reflektor für Halbleiter-Heizungen entwickelt, bei denen der Ertrag von der Wiederholgenauigkeit abhängt.

Technisch relevante Aspekte
Wir passen die Geometrie und Oberflächenbeschaffenheit des Reflektors so an, dass eine Gleichmäßigkeit von ±0,1°C über das Wafer erreicht wird, sodass Ihr thermisches Budget während Softbake und Hardbake stabil bleibt. Er ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet, und das partikelkontrollierte Design verhindert Kontaminationen im Prozessraum. Die Material- und Beschichtungsstrategie sorgt für niedrige Ausgasung und eine konstante Reflexion über tausende Stunden, sodass die Lampenleistung nicht driftet und die thermische Wiederholgenauigkeit erhalten bleibt.