در خطوط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، مشکلات مربوط به اختلاف دمایی وجود دارد؛ یعنی در حین فرآیند پخت رزیست، اگر دما ۱ درجه سانتیگراد تغییر کند، ابعاد مهم محصول دچار اختلال میشوند. ما سیستم لامپهای مادون قرمز ساخته شده از الیاف کربنی را طراحی کردهایم تا از بروز چنین مشکلاتی جلوگیری شود. این لامپها جایگزین منابع نوری هالوژنی و کوارتزی معمولی شدهاند؛ بنابراین گرمای تولید شده یکنواخت است و هیچ نقطه داغی وجود ندارد.
میزان یکنواختی دمایی در سطح ویفر، حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، این یکنواختی در هر بار تکرار فرآیند، حتی پس از هزاران بار تکرار، حفظ میشود. پاسخگویی این لامپ در کمتر از یک ثانیه است؛ بنابراین میتوانید کنترل دقیقی بر فرآیندهای پخت داشته باشید. این لامپ در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ کار میکند و هیچ ذرهای تولید نمیشود؛ همچنین، این لامپ مطابق با الزامات لیتوگرافی پیشرفته است. مصرف انرژی این لامپ نسبت به لامپهای هالوژنی تا ۳۰ درصد کمتر است؛ همچنین، عمر این لامپ بیش از ۵۰۰۰ ساعت است و کاهش کارایی آن کمتر از ۵٪ است.
این ویژگیها چه تأثیری بر فرآیند تولید دارند؟ کنترل دقیقتر ابعاد محصول، کاهش تعداد محصولات بیکیفیت، و حفظ ثبات کیفیت محصول در حین کوچک شدن ابعاد نانوذرات. میتوانید رزیستهای با ضخامت کمتری را استفاده کنید، رفتار گذار یکنواختی در سراسر ویفر را حفظ کنید، و از اختلافات دمایی بین دستگاهها جلوگیری کنید. این لامپ میتواند در سیستمهای موجود برای پوشاندن و پخت ویفر نیز استفاده شود؛ همچنین، از رابطها و روالهای استاندارد برای کالیبراسیون استفاده میشود، بنابراین نیازی به بازبینی فرآیند نیست.
نصب این لامپ نیازمند کنترل بار حرارتی و جغرافیای مسیر نور است. الیاف کربنی در برابر تنشهای مکانیکی مقاومت ندارند؛ بنابراین، در نصب آن باید از قطعاتی که باعث تنش میشوند، اجتناب کرد و فضای کافی برای گسترش الیاف کربنی فراهم شود. باید یک آزمایش کوتاه انجام داد تا میزان انتشار نور در سطح مختلف مشخص شود و پروفایل PID مناسب برای فرآیند تنظیم شود. پس از تنظیم، این لامپ استابیلیتی لازم برای فرآیند تولید را فراهم میکند.