Comment maintenir vos systèmes de chauffage par rayonnement infrarouge suffisamment propres pour un environnement de classe 100
Si vous gérez une salle propre de classe 100, vous connaissez bien le problème lié aux émissions de gaz. Un seul petit morceau de débris provenant d’un élément chauffant peut compromettre toute votre ligne de production.
Dans une usine de semi-conducteurs, les lampes à rayonnement infrarouge standard ne sont généralement pas adaptées à cette tâche. Elles ont tendance à se détériorer sous haute température, libérant des particules microscopiques là où on ne le souhaite pas.
Le secret réside dans le quartz
C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de très haute pureté pour nos protections. Le verre standard n’est tout simplement pas assez propre : il contient des impuretés qui se transforment en gaz lorsque la température augmente. Nos protections en quartz agissent comme des boucliers pour vos pièces en cours de traitement. Elles empêchent le filament de tungstène de réagir avec l’air, ce qui évite la formation de poussière métallique autour des wafer.
Pourquoi le quartz fonctionne bien
Il s’agit avant tout de la capacité du matériau à résister à la chaleur. Le quartz ne se déforme ni ne se fissure même lorsque la température augmente rapidement. De plus, il permet au rayonnement infrarouge à courtue longueur d’onde de passer à travers lui. La chaleur atteint donc directement sa cible, sans être piégée dans la protection.
Mais attention…
Le quartz est chimiquement stable, mais il attire facilement la saleté. Si un technicien touche le verre à mains nues, les huiles de la peau s’y incrustent. Cela crée des points chauds qui peuvent endommager prématurément le système de chauffage. Utilisez absolument des gants sans poils. À chaque fois.
Comment les installer dans votre usine
Nous avons conçu ces protections pour qu’elles puissent remplacer facilement vos lampes actuelles. Nous veillons à ce que les tolérances soient strictes afin que les protections s’adaptent parfaitement. Cela assure non seulement la stabilité, mais aussi l’absence de turbulences dans l’air, ce qui évite la formation de poussière.
Un dernier conseil : surveillez votre alimentation électrique. Si la tension varie, les filaments vont clignoter. Cela entraîne un chauffage inégal de la pièce en cours de traitement, ce qui est un vrai problème à éviter.