Curation de la polyimide pour la fabrication de wafers

Sun, 28 Jun 2026 01:57:58 +0800

Dans le domaine de la lithographie, la durcissement du polyimide n’est pas simplement une étape de chauffage supplémentaire. C’est le contrôle de la température qui détermine la fiabilité du dispositif. Une variation de 1°C sur toute la surface du wafer peut provoquer des contraintes excessives, des fissures dans les connexions, et annuler ainsi un travail entamé pendant une semaine. Il est donc nécessaire d’utiliser une plateforme qui considère la température comme une composante essentielle du processus, et non quelque chose à gérer en dernier recours.

Lampe infrarouge pour cuisson de polyimide

Sat, 20 Jun 2026 02:32:12 +0800

Sur le sol en lithográphie, c’est durant l’étape de cuisson du polyimide que le budget thermique se transforme en contrôle de la largeur des lignes gravées. Quelques degrés d’écart de température se traduisent par une déviation des parois latérales. Un point chaud se manifeste quant à lui par un nombre élevé de particules sur la wafer. L’étape de cuisson doit être reproductible, fiable et rapide – pour chaque lot produit.

Ce qui est important en réalité Nous avons conçu ce système de cuisson du polyimide autour d’une lampe infrarouge dont la réponse dans le domaine NIR correspond à l’absorption du polyimide. L’énergie est dirigée là où elle est nécessaire, sans endommager le substrat. Cela permet une uniformité de température sur toute la surface de la wafer de ±0,1°C, ainsi qu’une stabilité des paramètres de cuisson même lors de la production de lots importants. Le générateur de chaleur est conçu pour fonctionner dans des salles propres de classe 1–100 ; les matériaux et les joints utilisés visent à éviter toute génération de particules. En production, cela se traduit par moins d’anomalies, une distribution plus précise des dimensions des lignes gravées, et un rendement prévisible.

Polyimide on Modern Infrared Home Heating

Curation de la polyimide pour la fabrication de wafers

Lampe infrarouge pour cuisson de polyimide