בקו של 300 ממ, כמו שידוע, כל שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט גורם לכך שהממדים הקריטיים של המוצר יצאו מהתקנים הנדרשים. פיתחנו מערכת נורות אינפרא-אדום מבסיס פיבר פחמן, כדי למנוע זאת. מערכת זו מחליפה את מקורות האור הרגילים מסוג הלוגן וקוורץ, במקור אור מבסיס פיבר פחמן שמותאם לאור אינפרא-אדום. כך נוצר חימום מהיר ואחיד – ללא אזורים חמים במיוחד.
התוצאה היא אחידות טמפרטורית של ±0.1°C על פני כל שטח החימום, והיכולת לחזור על התהליך שוב ושוב, אלפי פעמים. זמן התגובה של המערכת הוא פחות משנייה, מה שמאפשר שליטה מדויקת על תהליך החימום. הנורה פועלת בסביבות נקיות מסוג Class 1–100, ללא חלקיקים, ועומדת בדרישות הנמוכות של תהליכי ליתוגרפיה מתקדמים. צריכת האנרגיה שלה נמוכה ב-30% לעומת נורות הלוגן, והנורה יכולה לפעול במשך 5,000 שעות ברצף, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועיה.
מה זה אומר בפועל? שליטה טובה יותר בממדים של המוצר, פחות צורך בעבודות תיקון, ותפוקה יציבה ככל שהממדים של המוצר מצטמצמים. ניתן להשתמש בפוטורזיסט בעובי נמוך יותר, לשמור על אחידות התכונות של החומר בכל שטח הוופר, ולמנוע שינויים בטמפרטורה בין המכשירים השונים. המערכת יכולה להתחבר למערכות הקיימות, באמצעות ווידג’טים ונהלי כיול סטנדרטיים, כך שאין צורך לבצע בדיקות נוספות.
ההתקנה כוללת ניהול של העומס התרמי והגאומטריה של קו הראייה. רכיבי הפיבר פחמן אינם עמידים לעומסים מכאניים, לכן יש להימנע מהתקנה שעלולה לגרום ללחץ על הרכיבים, ויש לאפשר להם מקום להתרחב בצורה חופשית. יש לבצע בדיקות ראשוניות כדי לקבוע את רמת הפליטה של האור, וליישב את הפרמטרים של המערכת לפי הצרכים של המוצר. לאחר שהמערכת מותאמת, היא מספקת יציבות ברמה הנדרשת, יום אחר יום.