מנורת אינפרא אדום ללא אוזון

בתהליך הליתוגרפיה, האפשרות לשחזר את תנאי החימום של החומר הפוטורזיסטיבי אינה דבר שניתן להתעלם ממנו – זו חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 2°C במהלך...