מכשיר למדידת מתח פני השטח של הוופרים

במחלקת הליתוגרפיה, אתם יודעים איך זה עובד – שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לכך שהשליטה בממדים הקריטיים של הוופר תאבד את היעילות שלה....