लिथोग्राफी प्रक्रिया में, पॉलीइमाइड को सही तरीके से सुखाना कोई साधारण तापन प्रक्रिया नहीं है; बल्कि यही तापमान उपकरणों की विश्वसनीयता का निर्धारण...

लिथो फ्लोर पर, पॉलीइमाइड बेकिंग के दौरान ही थर्मल ऊर्जा का उपयोग लाइन-विड्थ नियंत्रण हेतु किया जाता है। कुछ डिग्री का अंतर भी साइडवॉल में विकृति का...