वेफर की सतही तनाव मापन हीटर

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में आधे डिग्री का भी अंतर होने से क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल खराब हो जाता है। ऐसी स्थिति में वेफरों को फेंकना...