Sistem fabrikasi inframerah industri khusus
Out on the fab floor, Anda belajar untuk memperlakukan drift suhu dalam proses photoresist seperti musuh lama. Soft bake pada 90°C dengan ±3°C...
Pabrik pemanas wafer industri
Di lantai fab, drift 0,3°C dalam pemanggangan photoresist dapat berubah menjadi penyimpangan garis pola yang menyebabkan seluruh lot terbuang. Dalam...