Fabbrica di lampade a infrarossi in fibra di carbonio

Fri, 03 Jul 2026 03:49:08 +0800

Su una linea da 300 mm, si sa come vanno le cose: anche un’oscillazione di 1°C durante il processo di essiccazione del fotoresist può far sì che le dimensioni critiche del prodotto non rispettino i parametri richiesti. Abbiamo quindi creato un sistema a lampade a fibra di carbonio per evitare questo problema. Queste lampade sostituiscono le solite fonti a halogeno e quarzo, offrendo un riscaldamento rapido ed uniforme, senza punti caldi.

La uniformità termica su tutta la superficie di essiccazione è di ±0,1°C; inoltre, la ripetibilità dei risultati rimane entro questi limiti, anche dopo migliaia di cicli. La risposta della lampada è inferiore a un secondo, il che permette un controllo preciso sia sui processi di essiccazione leggera che su quelli più intensivi. La lampada funziona in ambienti di tipo Class 1–100, senza alcun problema legato alla presenza di particelle, e soddisfa i requisiti riguardanti il basso livello di emissione di gas tipici delle tecnologie di litografia avanzate. Il consumo energetico è ridotto del 30% rispetto alle lampade a halogeno; inoltre, l’emettitore dura più di 5.000 ore con una diminuzione dell’efficienza inferiore al 5%.

Carbone on Modern Infrared Home Heating

Fabbrica di lampade a infrarossi in fibra di carbonio