Lampadina economica per asciugatura wafer

Mon, 01 Jun 2026 18:06:21 +0800

Sulla linea di produzione, un singolo problema durante il soft bake può compromettere un intero turno di litografia. Se la lampada di asciugatura inizia a funzionare al di sotto delle prestazioni, i profili del photoresist si spostano e la resa ne risente. Abbiamo progettato questa lampada per l’asciugatura dei wafer per ridurre tale rischio — mantenendo il controllo termico entro le specifiche, senza superare il budget.

Cosa conta sotto la superficie

Si tratta di una lampada al quarzo alogena, ottimizzata per emissione a onde corte in modo da garantire un riscaldamento rapido e controllato. L’uniformità della temperatura sul wafer rimane entro ±0,1°C, contribuendo a preservare le dimensioni critiche del photoresist durante soft bake e hard bake. L’assenza di emissione di particelle consente di mantenere le classi di cleanroom da 1 a 100. La geometria del filamento e del bulbo è progettata per un’uscita stabile oltre 5.000 ore di funzionamento, con una ripetibilità che mantiene la deriva di intensità sotto il 5%.

Economico on Modern Infrared Home Heating

Lampadina economica per asciugatura wafer