Sistema industriale infrarosso fab su misura
Sulla linea di produzione si impara a considerare la deriva termica nel processo di fotoresist come un nemico da evitare. Una soft bake a 90°C con...
Fabbrica di riscaldatori industriali per wafer
On the fab floor, una deriva di 0,3°C nel bake del fotoresist può trasformarsi in un’escursione delle dimensioni della linea che porta a scartare un...