Sistema industriale infrarosso fab su misura

Wed, 10 Jun 2026 02:09:21 +0800

Sulla linea di produzione si impara a considerare la deriva termica nel processo di fotoresist come un nemico da evitare. Una soft bake a 90°C con ±3°C di variazione sulla wafer? Questo tipo di dispersione sposta il bias della dimensione critica e lascia edge bead che si manifesteranno successivamente come rilavorazioni. Per questo abbiamo sviluppato un sistema fab industriale a infrarossi personalizzato per eliminare tale incertezza, fornendo calore ripetibile esattamente dove serve nel processo, senza movimento d’aria e senza aggiunta di particelle.

Fabbrica di riscaldatori industriali per wafer

Mon, 08 Jun 2026 03:00:06 +0800

On the fab floor, una deriva di 0,3°C nel bake del fotoresist può trasformarsi in un’escursione delle dimensioni della linea che porta a scartare un intero lotto. Nella produzione wafer ad alto volume, il controllo termico non è un optional: è la linea di demarcazione tra produrre rese e produrre scarti.

Cosa conta sotto il cofano

Progettiamo riscaldatori per wafer per esigenze di produzione, basati su prestazioni termiche ripetibili che rientrano nelle finestre di processo dei semiconduttori. Sul chuck, puntiamo a una uniformità a livello wafer di ±0,1°C, e la stabilità del setpoint rimane stretta durante soft bake e hard bake.
Il design utilizza radiazione infrarossa a onda corta o media con componenti in quarzo per mantenere bassa la generazione di particelle e l’outgassing. La compatibilità con le camere bianche copre dalla Classe 1 alla Classe 100. È garantita un’operatività 24/7 con MTBF nell’ordine di decine di migliaia di ore, e un servizio basato su manutenzione preventiva programmata, non su interventi di emergenza.

Industriale on Modern Infrared Home Heating

Sistema industriale infrarosso fab su misura

Fabbrica di riscaldatori industriali per wafer

Cosa conta sotto il cofano