Lampadina per asciugatrice di wafer ad alta efficienza
Su una linea da 300mm, è possibile osservare una perdita di resa con una deriva di 0,5°C durante la cottura della fotoresist. Il controllo della...
Lampadina economica per asciugatura wafer
Sulla linea di produzione, un singolo problema durante il soft bake può compromettere un intero turno di litografia. Se la lampada di asciugatura...
Lampadina riscaldante a infrarossi a risposta rapida
Sulla linea di litografia, il cronometro parte nel momento esatto in cui il wafer raggiunge la temperatura. Soft bake e hard bake non sono...