http://infrared-heat-home.com/ja/tags/%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%83%8B%E3%82%A6%E3%83%A0/ Recent content in アルミニウム on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 01:12:45 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 01:12:45 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="IRランプ用アルミリフレクター"></p> <p>リソグラフィフロアでは手順はおなじみだろう。フォトレジストのベーク時に1℃の変動があれば、ロット全体が<a href="https://henruite.com">廃棄</a>になることもある。熱制御はセットポイントのように安定して動作しなければならず、予測不能な要素になってはいけない。だからこそ、歩留まりが繰り返し性にかかっている半導体グレードの加熱用にアルミ製IRリフレクターを設計した。</p> <p><strong>技術的に重要なポイント</strong><br> リフレクターの形状と表面仕上げを調整し、ウェハ全体で±0.1℃の温度均一性を実現。これによりソフトベークからハードベークまで熱予算が安定する。クリーンルーム対応はClass 1–100で、粒子制御設計によりチャンバー内への汚染を防止する。材料とコーティングの戦略により、数千時間の運転でもアウトガスを抑え、反射率の変動を最小限にするため、ランプの出力がドリフトせず熱の再現性が確保される。</p>