クリーン on Modern Infrared Home Heating

半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

Mon, 20 Jul 2026 09:10:34 +0800

シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る

大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。単に数時間間機械が停止するだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントがシリコンウェーハの上に降り注ぐことになります。わずかな破損でも、ウェーハが汚染されてしまいます。私たちは、そうした事態を防ぐために特別にヒーターを設計しています。

ランプが壊れる原因
通常、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。これに対処するため、急速な加熱・冷却に耐えられる厚さの高純度合成石英を使用しています。
しかし、本当の秘訣は位置合わせにあります。タングステンフィラメントの位置を0.1mm未満の範囲内に保つのです。なぜでしょうか？フィラメントがずれてチューブの壁に触れると、局部過熱が起こります。その結果、石英が軟化し、圧力が高まり、最終的にランプが壊れてしまいます。

クリーンルーム用赤外線ヒーター

Sat, 18 Jul 2026 02:00:16 +0800

IRを利用してファブの加熱をコントロールする
正直に言うと、昔ながらの加熱方法ではもはや十分ではありません。現代の半導体や電子機器の製造工場で働くなら、勘に頼るわけにはいきません。データが必要です。
だからこそ、私たちは赤外線（IR）システムを活用します。クリーンルーム内の空気全体を温めるのではなく、IRは直接対象物を温めます。これは直接的な放射熱です。簡単です。

クリーンルームの設備がアップグレードされる

Mon, 13 Jul 2026 17:09:54 +0800

手を火傷しないように：半導体製造装置を加熱するためのより良い方法
もし半導体製造工場で働いたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。装置の内部は高温でなければならないのに、外側の壁は冷たく保たれていなければなりません。