http://infrared-heat-home.com/ja/tags/%E3%83%88%E3%83%AD%E3%83%AA%E3%83%BC/ Recent content in トロリー on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Mon, 20 Jul 2026 09:10:34 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ Mon, 20 Jul 2026 09:10:34 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/semiconductor-clean-room-trolley-heater/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="半導体クリーンルーム用トロリーヒーター"></p> <h1 id="シャードの発生を防ぐランプの故障からウェーハを守る">シャードの発生を防ぐ：ランプの故障からウェーハを守る</h1> <p>大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが壊れると大変な問題になります。単に数時間間機械が停止するだけではありません。ガラスの<a href="https://o-yate.com">破片</a>やタングステンフィラメントがシリコンウェーハの上に降り注ぐことになります。わずかな破損でも、ウェーハが汚染されてしまいます。私たちは、そうした事態を防ぐために特別にヒーターを設計しています。</p> <p><strong>ランプが壊れる原因</strong><br> 通常、熱衝撃や局所的な過熱が原因です。これに対処するため、急速な加熱・冷却に耐えられる厚さの高純度合成石英を使用しています。<br> しかし、本当の秘訣は位置合わせにあります。タングステンフィラメントの位置を0.1mm未満の範囲内に保つのです。なぜでしょうか？フィラメントがずれてチューブの壁に触れると、局部過熱が起こります。その結果、石英が軟化し、圧力が高まり、最終的にランプが壊れてしまいます。</p>