http://infrared-heat-home.com/ja/tags/%E3%83%9D%E3%83%AA%E3%82%A4%E3%83%9F%E3%83%89/ Recent content in ポリイミド on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 01:57:58 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ Sun, 28 Jun 2026 01:57:58 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ製造におけるポリイミドの硬化"></p> <p>リソグラフィー工程において、ポリイミドの硬化処理は単なる加熱工程に過ぎません。実際には、この<a href="https://goldisgood.com">温度</a>制御がデバイスの信頼性を決定づける重要な要素です。ウェーハの温度が1℃変動するだけで、応力が変化し、配線にひびが入り、1週間かけて行った作業が台無しになってしまいます。したがって、温度を単なる後付けの要素ではなく、プロセスの一部として扱えるシステムが必要です。</p> <p><strong>重要なのは何か</strong> 私たちは、±0.1℃という高い<a href="https://o-yate.com">安定性</a>を実現するためのシステムを構築しました。これは、チャンバー全体での平均値をもとに推測するのではなく、センサーを用いて正確に測定されます。ヒーターは石英を用いた放射型設計で、速くかつ再現性のある温度上昇を実現します。これにより、ポリイミドは所定の硬化曲線に沿って硬化され、温度の遅れやオーバーシュートが起こりません。</p> <p>クリーンルームとの互換性も最初から考慮されています。クラス1～100に適合した材料や、密閉された接続部、低ガス放出型のコンポーネントにより、粒子数を抑制します。ゼロ粒子というのは単なるスローガンではなく、標準的なウェーハ処理の際にもリアルタイムで測定されます。その結果、繰り返しの焼成・硬化工程が可能になります。</p> http://infrared-heat-home.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:32:12 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ポリイミド焼成用赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ポリイミドの加熱処理は、熱エネルギーをどのように制御するかという点で重要です。数度の温度変動があると、ウェーハの側壁に歪みが生じます。また、局所的な過熱があると、ウェーハ上に粒子が<a href="https://o-yate.net">発生</a>します。したがって、この加熱処理は、すべてのロットにおいて、再現性があり、クリーンで、迅速に行われなければなりません。</p>