http://infrared-heat-home.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Mon, 20 Jul 2026 09:17:47 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Mon, 20 Jul 2026 09:17:47 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>ヒーター要素によってウェーハが損傷するのを防ぎましょう。<br> クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。見えないほど微小な汚れがウェーハに付着するだけで、一括して廃棄せざるを得なくなります。これは非常に厄介で、コストもかさみます。通常、この問題はヒーター要素からのガス放出や粒子の飛散が原因です。</p>