http://infrared-heat-home.com/ja/tags/%E7%84%A1%E6%96%99/ Recent content in 無料 on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 01:51:35 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Fri, 26 Jun 2026 01:51:35 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="オゾンフリー赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、フォトレジストの<a href="https://henruite.com">焼成過程</a>での再現性は、単なる望ましい特性ではなく、むしろ不可欠な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃でも温度が変動すると、ウェーハの寸法<a href="https://o-yate.net">制御</a>が乱れてしまいます。また、わずかな粒子の混入だけで、大量のウェーハが廃棄されてしまうこともあります。そうした<a href="https://o-yate.com">問題</a>を解決するために、私たちはオゾンフリーの赤外線ランプを<a href="https://goldisgood.com">開発</a>しました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> これらのランプはオゾンフリーの近赤外線を利用して動作するため、触媒コンバーターやそれに伴うメンテナンスの手間が不要です。照明される領域全体で、ウェーハ表面の温度均一性は±0.1℃以内を維持でき、回ごとの再現性も±0.2℃以内です。</p>