http://infrared-heat-home.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Sat, 20 Jun 2026 02:32:12 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 02:32:12 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/polyimide-bake-infrared-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ポリイミド焼成用赤外線ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ポリイミドの加熱処理は、熱エネルギーをどのように制御するかという点で重要です。数度の温度変動があると、ウェーハの側壁に歪みが生じます。また、局所的な過熱があると、ウェーハ上に粒子が<a href="https://o-yate.net">発生</a>します。したがって、この加熱処理は、すべてのロットにおいて、再現性があり、クリーンで、迅速に行われなければなりません。</p>