IR on Modern Infrared Home Heating

赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ

Fri, 24 Jul 2026 09:48:42 +0800

無駄なエネルギーの消費をやめましょう：なぜ金製の反射板が重要なのか
ウェハー製造においては、1ワットも無駄にしてはいけません。もし通常の赤外線エミッターを使っている場合、問題があります。それは、エネルギーがあらゆる方向に放出されてしまうからです。しかし、ウェハーは片側にしかありません。適切な反射板や絶縁処理がなければ、実質的には装置自体が熱くなってしまい、製品自体が加熱されないのです。これは無駄遣いです。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 23 Jul 2026 10:03:50 +0800

装置の壁面で熱が無駄になるのを止めましょう

シリコンウェーハを加熱するには、莫大なエネルギーが必要です。しかし問題は、ほとんどの赤外線ランプがその熱をあらゆる方向に放出してしまうことです。これは明らかな無駄遣いです。
ランプから360度に光が放出されると、高価な機器の内壁がその余分なエネルギーを吸収してしまいます。その結果、機器のフレームが高温になり、操作者にとっては苦痛な状況になります。また、冷却システムも過負荷になり、機器が壊れないように必死に働かなければなりません。

IRランプ用アルミリフレクター

Thu, 04 Jun 2026 01:12:45 +0800

リソグラフィフロアでは手順はおなじみだろう。フォトレジストのベーク時に1℃の変動があれば、ロット全体が廃棄になることもある。熱制御はセットポイントのように安定して動作しなければならず、予測不能な要素になってはいけない。だからこそ、歩留まりが繰り返し性にかかっている半導体グレードの加熱用にアルミ製IRリフレクターを設計した。

技術的に重要なポイント
リフレクターの形状と表面仕上げを調整し、ウェハ全体で±0.1℃の温度均一性を実現。これによりソフトベークからハードベークまで熱予算が安定する。クリーンルーム対応はClass 1–100で、粒子制御設計によりチャンバー内への汚染を防止する。材料とコーティングの戦略により、数千時間の運転でもアウトガスを抑え、反射率の変動を最小限にするため、ランプの出力がドリフトせず熱の再現性が確保される。