http://infrared-heat-home.com/ja/tags/scr/ Recent content in SCR on Modern Infrared Home Heating Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 02:01:57 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/scr-power-regulator-for-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 02:01:57 +0800 http://infrared-heat-home.com/ja/posts/scr-power-regulator-for-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ランプ用SCR電力レギュレータ"></p> <p>製造現場では、わずか0.5度の温度変動でも、重要な<a href="https://o-yate.com">寸法</a>が狂ってしまい、大量の製品が廃棄されてしまうことがあります。そこで、私たちはランプ用のSCR電力調整装置を開発しました。これにより、温度の変動を根本的に抑制し、ランプの出力が所定の値を維持できるようになります。つまり、ラインの電圧の影響を受けないのです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> これは、ハロゲン灯、クォーツ灯、短波灯、中波灯、カーボンファイバーNIR光源に対応するランプドライバーと組み合わせられた閉ループ式のSCRコントローラーです。これにより、ベーキングプレート上の温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、ウェーハ間の再現性も±0.2℃以内に抑えられます。出力は設定値の0.1％以内に保たれ、設定値の変更やラインの変動に対しては10ミリ秒未満で反応します。この装置はクラス1～100のクリーンルームで使用できるように設計されており、熱処理による粒子の発生がなく、EMIに配慮した配置になっているため、リソグラフィーに悪影響を与えません。</p>