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		<title>알루미늄 on Modern Infrared Home Heating</title>
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				<title>IR 램프용 알루미늄 반사경</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://infrared-heat-home.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png&#34; alt=&#34;IR 램프용 알루미늄 반사경&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;h1 id=&#34;리소그래피-플로어에서-당신은-그-절차를-잘-알고-있습니다-포토레지스트-베이크-과정에서-1c의-온도-변화는-전체-로트를-폐기할-만큼-충분합니다-열-제어는-무작위-카드가-아니라-세트포인트처럼-작동해야-합니다-그렇기-때문에-우리는-반도체급-가열을-위한-알루미늄-ir-반사기를-제작했습니다-여기서-수율은-반복-가능성에-따라-좌우됩니다&#34;&gt;리소그래피 플로어에서 당신은 그 절차를 잘 알고 있습니다. 포토레지스트 베이크 과정에서 1°C의 온도 변화는 전체 로트를 폐기할 만큼 충분합니다. 열 제어는 무작위 카드가 아니라 세트포인트처럼 작동해야 합니다. 그렇기 때문에 우리는 반도체급 가열을 위한 알루미늄 IR 반사기를 제작했습니다. 여기서 수율은 반복 가능성에 따라 좌우됩니다.&lt;/h1&gt;&#xA;&lt;p&gt;&lt;strong&gt;기술적으로 중요한 사항&lt;/strong&gt;&lt;br&gt;&#xA;우리는 반사기의 형상과 표면 마감을 조정하여 웨이퍼 전반에 걸쳐 ±0.1°C의 균일성을 유지합니다. 이를 통해 소프트 베이크와 하드 베이크 동안 열 예산이 안정적으로 유지됩니다. 이 장치는 클래스 1-100에 적합하며, 입자 제어 설계로 오염이 챔버로 유입되는 것을 방지합니다. 재료와 코팅 전략은 가스 배출을 낮추고 수천 시간 동안 반사율을 안정적으로 유지하여 램프 출력이 드리프트하지 않도록 하고, 열 반복 가능성이 견고하게 유지되도록 합니다.&lt;br&gt;&#xA;라인에서 이것이 의미하는 바는 다음과 같습니다. 더 엄격한 치수 제어, 재작업이 줄어들고, 교대마다 일관된 베이크 프로파일이 유지됩니다. 시스템이 24/7 동안 안정적으로 작동하기 때문에 불필요한 다운타임을 줄이고 자신 있게 운영할 수 있습니다.&lt;br&gt;&#xA;또한, 반사기는 포토레지스트에 대한 IR 결합을 극대화하여 모듈의 열 부하를 줄이고 운영 비용을 절감합니다—온도 안정성을 포기하지 않으면서 말입니다.&lt;br&gt;&#xA;몇 가지 실용적인 주의 사항. 반사기는 램프 축과의 간섭이 적도록 정밀하게 정렬되어야 하며, 정렬이 틀어지면 핫 존이 이동하여 균일성이 떨어집니다. 설치 후 열 평형에 도달하기까지 짧은 램프업 시간이 필요하며, 성능을 유지하기 위해 반사율과 청결성을 주기적으로 점검할 계획을 세워야 합니다.&lt;br&gt;&#xA;정확하게 규격화되고 설치되면, 베이크는 하드웨어가 아닌 웨이퍼에 유지됩니다.&lt;/p&gt;</description>
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