http://infrared-heat-home.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Modern Infrared Home Heating Hugo ko Sun, 19 Jul 2026 09:51:48 +0800 http://infrared-heat-home.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sun, 19 Jul 2026 09:51:48 +0800 http://infrared-heat-home.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://infrared-heat-home.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법<br> 클래스 100급 청정실에서 작업할 때면, 히터에서 나오는 아주 작은 이물질만으로도 전체 웨이퍼가 버려지는 상황이 발생합니다. 정말 답답한 일이죠. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.<br> 대부분의 가열 요소들은 시간이 지나면서 가스를 방출하거나 조각조각 부서집니다. 하지만 이 석영관들은 그런 문제가 없습니다. 웨이퍼를 빠르게 건조시킬 수 있는 열을 공급하지만, 금속 잔여물은 남기지 않습니다.</p>