Pada garisan berukuran 300mm, kita tahu apa yang akan berlaku: perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist boleh menyebabkan dimensi kritikal komponen tersebut menjadi tidak memenuhi spesifikasi yang ditetapkan. Oleh itu, kami mencipta sistem lampu inframerah berbahan serat karbon untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku. Sistem ini menggantikan sumber cahaya halogen dan kuarsa biasa dengan emitor berbahan serat karbon yang disesuaikan untuk pengeluaran cahaya dalam spektrum NIR. Dengan cara ini, haba yang dihasilkan adalah sekata, tanpa adanya kawasan panas.
Ketekalan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, dan ketepatan pengukuran ini kekal sama setelah ribuan kali proses pembakaran dilakukan. Masa tindak balas lampu ini sangat cepat, sehingga memungkinkan kawalan yang lebih baik terhadap proses pembakaran. Lampu ini beroperasi dengan baik dalam persekitaran kelas 1–100, tanpa adanya zarah-zarah yang boleh merosakkan bahan fotoresist. Selain itu, ia juga memenuhi syarat pengeluaran gas yang rendah yang diperlukan oleh teknologi litografi canggih. Penggunaan tenaga lampu ini pula lebih rendah sebanyak 30% berbanding lampu halogen. Emitor lampu ini mampu beroperasi selama 5,000 jam atau lebih dengan prestasi yang stabil, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%.
Apa maknanya bagi proses pengeluaran? Ia membolehkan kawalan dimensi komponen yang lebih tepat, mengurangkan jumlah produk yang perlu diperbaiki, dan memastikan hasil pengeluaran tetap stabil walaupun saiz komponen semakin kecil. Anda boleh menggunakan bahan fotoresist yang lebih tipis tanpa perlu risau, serta memastikan tingkah laku bahan fotoresist tetap konsisten di seluruh permukaan wafer. Sistem ini juga dapat digunakan bersama-sama dengan proses pelapisan/penyimpanan bahan fotoresist yang sedia ada, menggunakan antaramuka dan prosedur kalibrasi standard, jadi tidak perlu lagi melakukan penyesuaian proses pengeluaran.
Proses pemasangan pula melibatkan pengurusan beban haba dan geometri pandangan cahaya. Element serat karbon ini tidak tahan terhadap tekanan mekanikal, jadi cara pemasangannya harus mengelakkan penggunaan komponen yang menimbulkan tekanan, dan memberi ruang yang cukup agar element serat karbon dapat berkembang dengan lancar. Lakukan ujian pendek untuk mengetahui tahap emisi cahaya di setiap kawasan, dan sesuaikan parameter PID agar sesuai dengan jenis bahan fotoresist yang digunakan. Setelah disesuaikan dengan betul, lampu ini akan memberikan stabilitas yang diperlukan oleh proses pengeluaran, setiap hari.