Di ruang pemanggangan yang ideal, perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja pun boleh menyebabkan ketidakkonsistenan pada dimensi komponen yang dihasilkan, sehingga menyebabkan keseluruhan produk menjadi tidak berguna. Kami telah mencipta pengawal kuasa SCR khusus untuk lampu tersebut, agar perubahan suhu dapat dikawal dari awal, supaya keluaran lampu tetap mematuhi spesifikasi yang ditetapkan – bukannya dipengaruhi oleh voltan talian elektrik.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Ia merupakan pengawal jenis gelung tertutup yang digabungkan dengan pemandu lampu yang sesuai untuk sumber cahaya jenis halogen, kuarsa, gelombang pendek, gelombang sederhana, dan fiber karbon. Ini memastikan keseragaman suhu pada permukaan wafer sekitar ±0.1°C, manakala ulangan proses antara satu sesi ke sesi yang lain pula berada dalam lingkungan ±0.2°C. Keluaran lampu pula kekal pada tahap 0.1% daripada nilai yang ditetapkan, dengan masa tindak balas kurang dari 10 ms terhadap perubahan nilai yang ditetapkan. Peranti ini direka untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100 – tiada particulate yang dihasilkan oleh sistem haba, dan reka bentuknya juga memastikan tiada gangguan EMI yang boleh merosakkan proses litografi.
Proses pemrosesan fotorezistan – sama ada proses pemanggangan lembut, pemanggangan keras, atau pemanggangan selepas pendedahan – sangat bergantung pada kawalan suhu. Dengan adanya pengawal SCR yang menstabilkan tenaga lampu, kita dapat mencapai spesifikasi CD dan profil yang diinginkan setiap kali proses berlangsung. Ini akan mengurangkan jumlah pembuatan semula, meningkatkan kadar pengeluaran yang berkualiti, serta memastikan keseragaman profil suhu pada setiap wafer.
Selain itu, tenaga juga dapat dijimatkan kerana lampu tidak perlu diberi beban berlebihan untuk menyesuaikan diri dengan perubahan suhu. Jangka hayat lampu juga bertambah lama apabila ia beroperasi dalam keadaan yang stabil.
Berikut adalah butiran praktikal yang diperlukan. Pemandu lampu perlu disesuaikan dengan lengkung rintangan lampu pada saat permulaan operasi; jika tidak, arus yang melalui lampu akan meningkat secara mendadak, sehingga menyebabkan perlindungan lampu berfungsi. Semasa pemasangan, diperlukan saluran kawalan yang bebas daripada gangguan, dan antaramuka haba perlu bersih dan rata agar keseragaman suhu dapat dicapai.
Anda perlu melakukan ujian pendek untuk menyesuaikan parameter PID agar sesuai dengan ciri-ciri termal lampu dan permukaan pemanggangan yang digunakan.