Op maat gemaakt industrieel infrarood fabrieksysteem

Wed, 10 Jun 2026 02:09:21 +0800

Out on the fab floor leer je temperatuurafwijking in photoresist-processing te behandelen als een oude vijand. Een soft bake op 90°C met ±3°C over de wafer? Zo’n spreiding verschuift de bias in kritieke dimensies en laat edge beads achter die je later als rework zullen achtervolgen. Daarom hebben we een speciaal industrieel infrarood fab-systeem ontwikkeld om die onzekerheid uit te schakelen—door herhaalbare warmte exact te leveren waar het proces dat nodig heeft, zonder luchtbeweging en zonder extra deeltjes.

Industriële waferverwarmerfabriek

Mon, 08 Jun 2026 03:00:06 +0800

Op de productievloer kan een drift van 0,3°C in de photoresist bake uitmonden in een lijnbreedte-afwijking die een hele batch tot afval verklaart. Bij hoogvolume waferproductie is thermische controle geen luxe—het is het verschil tussen opbrengst en afval.

Wat telt onder de motorkap

Wij bouwen waferheaters voor productierealiteiten, gebaseerd op reproduceerbare temperatuurprestaties die binnen de procesvensters van halfgeleiders passen. Over de chuck heen streven we naar wafer-gelijkmatigheid van ±0,1°C, en de setpointstabiliteit blijft nauwkeurig gedurende soft bake en hard bake.
Het ontwerp maakt gebruik van kortegolf- of middengolf-infrarood met kwartscomponenten om partikelgeneratie en uitgassing laag te houden. Geschikt voor cleanroomclassificaties van Class 1 tot Class 100. 24/7 operationele beschikbaarheid is gegarandeerd met een MTBF in de tienduizenden uren, en onderhoud is gepland preventief in plaats van gebaseerd op spoedreparaties.

Industrieel on Modern Infrared Home Heating

Op maat gemaakt industrieel infrarood fabrieksysteem

Industriële waferverwarmerfabriek

Wat telt onder de motorkap