Polyimide hardening voor chipfabrieken

Sun, 28 Jun 2026 01:57:58 +0800

Op de afdeling voor lithografie is het harden van polyimide geen gewone verhittingsstap. Het is juist de temperatuur die bepaalt hoe betrouwbaar het apparaat zal zijn. Een verschil van 1°C op het wafer kan leiden tot spanningen, scheuren in de verbindingen tussen onderdelen, en daardoor kan er een week aan werk verloren gaan. Er is dus een systeem nodig dat temperatuur als onderdeel van het proces beschouwt, en niet pas als iets wat later wordt meegenomen in de berekeningen.

Polyimide bakinfraroodlamp

Sat, 20 Jun 2026 02:32:12 +0800

Op de lithofabrieksvloer wordt de polyimide afgekoeld met behulp van een infraroodlamp. Hierdoor kan de thermische energie worden gereguleerd, zodat de dikte van de laag precies kan worden bepaald. Een kleine afwijking in temperatuur leidt tot oneffenheden aan de zijkanten van de laag. Een ‘hot spot’ resulteert in een verhoogde concentratie deeltjes op het wafer. De afkoelingsstap moet herhaalbaar, nauwkeurig en snel zijn – voor elke batch.

Wat er echt toe doet We hebben deze polyimide-afkoelingssysteem ontworpen rondom een infraroodlamp, waarvan de NIR-respons is aangepast op de absorptie van polyimide. De energie komt waar het nodig is, zonder dat het substraat wordt beschadigd. Hierdoor blijft de temperatuur over het hele oppervlak van het wafer binnen ±0,1°C. Bovendien blijft de temperatuur stabiel, zelfs na meerdere batches. De lamp is ontworpen voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. De gebruikte materialen en sluitingen zorgen ervoor dat er geen deeltjes worden geproduceerd. In de productieresultaten zie je dit terug in minder fouten, een betere consistentie van de laagdiktes en een voorspelbare opbrengst.

Polyimide on Modern Infrared Home Heating

Polyimide hardening voor chipfabrieken

Polyimide bakinfraroodlamp