Fabriek voor infraroodlampen van carbonfiber

Fri, 03 Jul 2026 03:49:08 +0800

Op een 300mm-lijn is het bekend dat een verschil van 1°C tijdens het verhitten van de fotoresist ertoe kan leiden dat de kritieke afmetingen niet meer voldoen aan de vereisten. We hebben een systeem van infraroodlampen gemaakt van koolstofvezel om dit te voorkomen. Hierdoor worden de gebruikelijke halogeen- en kwartsbronnen vervangen door koolstofvezel-emitters die zijn afgestemd op het nabije infrarode gebied. Hierdoor wordt er snel en gelijkmatig warmte geproduceerd, zonder hotspots.

De thermische uniformiteit op het oppervlak van de wafer is ±0,1°C. De herhaalbaarheid blijft binnen deze marge, zelfs na duizenden cycli. De reactietijd is minder dan een seconde, waardoor je goed controle hebt over zowel het zachte als het harde verhittingsproces. De lamp werkt goed in omgevingen met een klasse van 1–100, zonder enige vorm van vuil. Bovendien voldoet de lamp aan de strenge eisen voor lage uitstoot van gassen die gelden voor geavanceerde lithografische processen. De energieverbruik is tot 30% lager vergeleken met halogeenlampen. De emitter kan tot 5.000 uur lang op volle capaciteit werken, met minder dan 5% afname in prestaties.

Vezels on Modern Infrared Home Heating

Fabriek voor infraroodlampen van carbonfiber