W linii o długości 300 mm sytuacja jest taka sama: nawet 1°C odchylenia podczas procesu suszenia fotoopornika może sprawić, że kluczowe wymiary produktu będą niezgodne z normami. Zbudowaliśmy system lamp infraczerwonych na bazie włókien węglowych, aby temu zapobiec. Zamiast standardowych źródeł światła halogenowego i kwarcowych używamy emiterów na bazie włókien węglowych, dostrojonych do fal długościowych NIR. Dzięki temu uzyskujemy szybkie i równomierne nagrzewanie – bez żadnych „gorących punktów”.
Można mierzyć poziom jednorodności termicznej na powierzchni płytki krzemowej – wynosi ona ±0,1°C. Powtarzalność wyników pozostaje na tym samym poziomie, nawet po tysiącach cykli. Czas reakcji lampy wynosi mniej niż sekundę, co umożliwia precyzyjną kontrolę procesu suszenia. Lampa pracuje w warunkach klasy 1–100, bez żadnych problemów z cząstkami stałymi. Spełnia również wymagania dotyczące niskiego wydzielania gazów przez zaawansowane urządzenia litograficzne. Zużycie energii jest o 30% mniejsze w porównaniu z lampami halogenowymi. Emiter może pracować przez ponad 5 000 godzin przy pełnej mocy, przy jednoczesnym spadku efektywności o mniej niż 5%.
Co to oznacza w praktyce? Lepsza kontrola wymiarów produktu, mniej konieczności ponownej obróbki, a także stabilna jakość produktu w miarę dalszego zmniejszania się rozmiarów elementów krzemowych. Można używać cieńszych warstw fotoopornika bez obaw, zachować stałe właściwości materiału na całej powierzchni płytki krzemowej, a także uniknąć odchyleń termicznych pomiędzy poszczególnymi urządzeniami. Lampa można łatwo zintegrować z istniejącymi urządzeniami do nakładania warstw i suszenia, dzięki standardowym interfejsom i procedurom kalibracji. Nie trzeba więc ponownie sprawdzać efektywności procesu.
Instalacja polega na kontrolowaniu obciążenia termicznego oraz geometrii układu. Elementy na bazie włókien węglowych nie tolerują naprężeń mechanicznych, dlatego montaż musi odbywać się tak, aby uniknąć konieczności użycia elementów mechanicznych, które mogłyby wpływać na pracę lampy. Należy zaplanować krótki okres testowania, aby sprawdzić emisyjność lampy w różnych miejscach i dostroić jej parametry do specyfiki używanego fotoopornika. Gdy wszystko będzie dobrze skonfigurowane, lampa zapewni niezbędną stabilność przez cały czas pracy.