Lampa podczerwona bez ozonu
W procesie litografii powtarzalność procesu suszenia fotopolimeru nie jest czymś dodatkowym – to element kluczowy całego procesu. Nawet niewielka...
Żarówka do suszarki do płytek o wysokiej wydajności
Na linii 300mm można obserwować spadek wydajności przy dryfcie 0,5°C podczas wypału fotoresistu. Kontrola szerokości linii szybko wymyka się spod...
Tania żarówka do suszenia wafli
Na hali produkcyjnej jedna awaria w trakcie soft bake może zniweczyć całą zmianę litograficzną. Jeśli lampa do suszenia zaczyna działać poniżej...
Szybko reagująca żarówka grzewcza na podczerwień
Na podłodze litograficznej zegar zaczyna odmierzać czas w momencie, gdy wafelek osiąga wymaganą temperaturę. Soft bake i hard bake to nie są zwykłe...