Em uma linha de 300 mm, já se sabe o que acontece: uma variação de 1°C durante o processo de cozimento do fotolítico faz com que as dimensões críticas fiquem fora dos padrões estabelecidos. Criamos um sistema de lâmpadas infravermelhas feitas de fibra de carbono para evitar isso. Esse sistema substitui as fontes de luz convencionais, feitas de halogênio e quartzo, por emissores de fibra de carbono ajustados para emitir luz no espectro infravermelho. Dessa forma, obtém-se um aquecimento rápido e uniforme, sem pontos quentes.
A uniformidade térmica na superfície da wafer é de ±0,1°C, e a repetibilidade permanece dentro desse intervalo, mesmo após milhares de ciclos. A resposta do sistema é inferior a um segundo, o que permite um controle preciso tanto no processo de cozimento suave quanto no duro. A lâmpada funciona perfeitamente em ambientes de classe 1–100, sem nenhuma emissão de partículas, e atende aos requisitos de baixa emissão de gases exigidos pelas tecnologias de litografia avançadas. O consumo de energia é reduzido em até 30% em comparação com as lâmpadas de halogênio. Além disso, o emissor tem uma vida útil de mais de 5.000 horas, com menos de 5% de degradação.
O que isso significa na prática? Um controle mais preciso das dimensões críticas, menos necessidade de retrabalho e maior produtividade, à medida que os tamanhos das estruturas diminuem. É possível usar fotolíticos mais finos sem preocupações, mantendo um comportamento consistente ao longo da wafer. Além disso, evita-se que haja flutuações térmicas entre as diferentes máquinas. A lâmpada pode ser integrada aos sistemas existentes, utilizando interfaces e rotinas de calibração padrão, para que não seja necessário revalidar todo o processo.
A instalação envolve o controle da carga térmica e da geometria da linha de visão. O elemento de fibra de carbono não tolera esforços mecânicos, portanto, a montagem deve evitar fixações que possam causar tensões, permitindo assim que o elemento se expanda livremente. É necessário realizar um teste inicial para determinar a emissividade na região afetada e ajustar o perfil PID de acordo com as características do fotolítico utilizado. Uma vez ajustada, a lâmpada oferece a estabilidade necessária para as operações diárias.