No piso da fábrica, uma variação de 0,3°C na cura do photoresist pode resultar em uma excursão na largura de linha que leva ao descarte de um lote...

Em uma linha de 300mm, é possível observar a perda de rendimento causada por uma deriva de 0,5°C durante o bake de fotorresiste. O controle da...

No chão de fábrica, uma falha no soft bake pode comprometer todo um turno de litografia. Se a lâmpada de secagem começar a apresentar desempenho...