На линии с длиной 300 мм ситуация проста: при нагреве фотополимера отклонение температуры в 1°C уже приводит к тому, что критические размеры изделий выходят за допустимые пределы. Чтобы этого избежать, мы создали систему инфракрасных ламп на основе углеродных волокон. Они заменяют обычные галогеновые и кварцевые источники света; благодаря этому достигается быстрое и равномерное нагревание без образования «горячих точек».
Уровень теплового однородия на поверхности пластины составляет ±0,1°C, а его стабильность сохраняется в течение тысяч циклов нагрева. Время реакции лампы составляет менее секунды, что позволяет точно контролировать процесс нагрева. Лампа может работать в условиях класса чистоты 1–100 без каких-либо проблем с частицами; к тому же она соответствует требованиям к минимальному выделению газов, характерным для современных технологий литографии. Потребление энергии снижается на 30% по сравнению с галогеновыми лампами; срок службы лампы составляет более 5000 часов при полной мощности, при этом её эффективность снижается менее чем на 5%.
Что это означает на практике? Более точный контроль критических размеров изделий, меньше необходимости в повторной обработке, а также стабильная производительность при сокращении размеров элементов. Можно использовать более тонкий слой фотополимера без опасений, сохранять однородность свойств материала на всей поверхности пластины, а также предотвратить колебания температуры между различными устройствами. Лампа может быть интегрирована в существующие системы нанесения покрытий и нагрева, используя стандартные интерфейсы и процедуры калибровки; это позволяет избежать необходимости переусмотрения процесса производства.
Установка лампы заключается в контроле тепловой нагрузки и геометрии расположения. Углеродные волокна не переносят механических нагрузок, поэтому при монтаже необходимо избегать использования конструкций, создающих напряжения, и обеспечить достаточно пространства для расширения волокон. Необходимо провести короткий тестовый запуск, чтобы определить коэффициент излучения в различных зонах и настроить параметры работы лампы. После этого лампа обеспечивает необходимую стабильность, необходимую для работы на производстве, день за днем.