Как предотвратить взрывы на линиях обработки полупроводников
Если вы работаете на линиях очистки полупроводников, вы знаете, с чем приходится иметь дело. Речь идет о легковоспламеняющихся растворителях и парах, которые могут в любой момент вспыхнуть. Использование обычной инфракрасной лампы в таких условиях приведет к серьезным последствиям.
Поэтому мы отказались от использования открытых нагревателей. Вместо этого все устройства закрыты в герметичные корпуса.
Как работает герметизация
Можно считать это своего рода защитной оболочкой. Инфракрасный излучатель помещается в корпус из кварца высокой чистоты, а затем все это закрывается герметичным соединением стекла и металла, которое не подвержено повреждениям под действием химикатов.
Вот в чем заключается реальная опасность при использовании обычных ламп: если она сломается, раскаленная нить может соприкоснуться с химическими парами, и тогда произойдет взрыв. Наше устройство исключает такую возможность. Кроме того, внутри трубки находится инертный газ, который предотвращает слишком быстрое сгорание нити. Таким образом, лампа работает дольше.
Выбор правильных материалов
Мы не используем обычное стекло. Внешний корпус обычно покрыт фторсодержащим слоем или имеет усиленную структуру из стекла. Почему? Потому что коррозийные чистящие средства разрушают кварц. Мы также усиливаем соединители, чтобы провода не повреждались после многократного нагрева и охлаждения.
Одной из важных проблем является тепловое расширение. Если корпус и кварц расширяются с разной скоростью, герметизация нарушается. Это простая физическая проблема, но если ее не учесть, весь механизм может сломаться. Мы тщательно подбираем материалы, чтобы сохранить герметичность.
Что нужно учитывать
Вы получаете необходимую стабильность для работы с полупроводниками, и можете спокойно спать, зная, что ваш завод не взорвется. Но это не волшебство – есть некоторые недостатки.
Из-за дополнительного слоя защиты теряется некоторое количество тепла. Это незначительное препятствие. Возможно, потребуется увеличить мощность лампы или разместить ее ближе к объекту обработки, чтобы достичь нужной температуры.
Кроме того, в системе управления может быть небольшая задержка. Но после настройки параметров это уже не проблема.