ในกระบวนการผลิตที่มีความยาว 300 มม. คุณก็รู้ดีว่าจะเกิดอะไรขึ้น: หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียง 1 องศาเซลเซียสระหว่างการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ค่าพารามิเตอร์สำคัญต่างๆ ก็จะไม่เป็นไปตามมาตรฐานทันที เราจึงสร้างระบบหลอดไฟอินฟราเรดที่ใช้เส้นใยคาร์บอนขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้เกิดปัญหาดังกล่าว ระบบนี้ใช้เส้นใยคาร์บอนแทนแหล่งกำเนิดแสงแบบฮาโลเจนหรือควอตซ์ ซึ่งช่วยให้เกิดความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ โดยไม่มีจุดที่ร้อนเกินไป
ค่าความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิววัสดุอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส และค่าความสม่ำเสมอนี้ยังคงอยู่ในช่วงนั้นซ้ำแล้วซ้ำเล่า หลายพันครั้ง ความเร็วในการตอบสนองอยู่ที่ระดับไม่เกินไม่กี่วินาที ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมกระบวนการอบได้อย่างแม่นยำ หลอดไฟนี้สามารถทำงานได้ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 โดยไม่มีอนุภาคใดๆ และยังตอบสนองความต้องการด้านการปล่อยก๊าซในกระบวนการลิโธกราฟีขั้นสูงได้อีกด้วย การใช้พลังงานลดลงถึง 30% เมื่อเทียบกับหลอดไฟแบบฮาโลเจน และเส้นใยคาร์บอนสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการสึกหรอน้อยกว่า 5%
แล้วสิ่งเหล่านี้จะส่งผลอย่างไรในทางปฏิบัติล่ะ? ก็คือการควบคุมค่าพารามิเตอร์ต่างๆ ได้อย่างแม่นยำมากขึ้น ลดจำนวนวัสดุที่ต้องทำการแก้ไขใหม่ และยังช่วยให้ค่าผลผลิตคงที่ แม้ว่าขนาดของวัสดุจะลดลงเรื่อยๆ ก็ตาม คุณสามารถใช้วัสดุโฟโตรีซิสต์ที่มีความหนาน้อยลงได้โดยไม่ต้องกังวล และยังช่วยให้ค่าพารามิเตอร์ต่างๆ คงที่ตลอดกระบวนการอบ นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังสามารถนำมาใช้ร่วมกับกระบวนการอบแบบเดิมได้ เพราะมีอินเทอร์เฟซและขั้นตอนการปรับแต่งมาตรฐาน ดังนั้นคุณจึงไม่จำเป็นต้องปรับแต่งกระบวนการผลิตใหม่อีก
การติดตั้งหลอดไฟนี้ก็เพียงแค่จัดการกับภาระความร้อนและตำแหน่งการวางหลอดไฟเท่านั้น เส้นใยคาร์บอนไม่ชอบแรงกดทางกล ดังนั้นการติดตั้งจึงต้องหลีกเลี่ยงการใช้ชิ้นส่วนที่มีลักษณะเป็นคาน และต้องมีพื้นที่เพียงพอให้เส้นใยคาร์บอนสามารถขยายตัวได้อย่างอิสระ ควรมีการทดสอบการทำงานของหลอดไฟก่อนใช้งานจริง เพื่อปรับค่า PID ให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิตของคุณ เมื่อปรับเสร็จแล้ว หลอดไฟนี้ก็จะให้ความเสถียรตามที่โรงงานต้องการ ตลอดเวลา