Out on the fab floor, you learn to treat temperature drift in photoresist processing like an old enemy. A soft bake at 90°C with ±3°C across the...

บนชั้นผลิต ช่วงการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.3°C ในการอบฟิล์มโฟโต้เรสซิสต์สามารถส่งผลให้เกิดความผิดพลาดของความกว้างของเส้นที่ทำให้ต้องทิ้งล็อตทั้งหมด...