300 mm’lik hatlarda bilinen bir durum var: Foto direnç malzemesinin ısıtılması sırasında 1°C’lik bir sapma olursa, kritik boyutlar aniden standartların dışına çıkıyor. Bunun önüne geçmek için karbon lifinden yapılmış bir kızılötesi lamba sistemi geliştirdik. Bu sistem, normal halojen ve kuvars kaynaklarının yerini, NIR bölgesinde çalışan karbon lifi emisyon kaynaklarına bırakıyor. Böylece hızlı ve eşit bir ısınma sağlanıyor; ayrıca sıcak noktalar oluşmuyor.
Ölçülebilen değerler ise şunlar: Wafer seviyesindeki termal düzenlilik, ısıtma yüzeyi boyunca ±0,1°C arasında kalıyor ve bu değerler binlerce kez tekrarlandığında bile aynı kalıyor. Yanıt süresi saniyenin altında olduğundan, hem yumuşak hem de sert ısıtma işlemleri üzerinde hassas kontrol sağlanabiliyor. Lamba, Class 1–100 ortamlarında sorunsuz çalışıyor; parçacık oluşumu yok ve ileri düzey litografi süreçlerinin düşük gaz salınımı gereksinimlerini karşılıyor. Halojenlere kıyasla enerji tüketimi %30 oranında azalıyor ve emisyon kaynağı, tam kapasitede 5.000 saatten fazla çalışabiliyor ve %5’ten az bir bozulma yaşanıyor.
Peki bu durum sahada ne anlama geliyor? Daha iyi CD kontrolü, daha az yeniden işleme ihtiyacı ve düğümlerin giderek küçülmesiyle birlikte istikrarlı verimlilik. Daha ince foto direnç malzemeleri kullanılabilir, wafer genelinde cam geçiş davranışları tutarlı kalır ve farklı cihazlar arasındaki termal farklılıklar ortadan kalkar. Standart arayüzler ve kalibrasyon prosedürleri sayesinde mevcut kaplama/ısıtma sistemlerine kolayca entegre edilebilir; böylece sürecin tekrar kalibre edilmesine gerek kalmaz.
Kurulum süreci, termal yükün ve görüş hattının geometrisinin yönetilmesine dayanıyor. Karbon lifi elemanı mekanik stresi sevmez; bu yüzden montaj işlemi sırasında kiriş şeklindeki yapılardan kaçınılmalı ve elemanın rahatça genişleyebilmesi için yeterli alan sağlanmalıdır. Bölgedeki emisiviteyi belirlemek ve PID profilini foto direnç malzemenize göre ayarlamak için kısa bir test süreci yapılmalıdır. Bir kez ayarlandığında, lamba fabrikanın her gün ihtiyaç duyduğu stabiliteyi sağlar.