Özel endüstriyel kızılötesi fabrika sistemi

Wed, 10 Jun 2026 02:09:22 +0800

Fabrika katında, fotoresist işlemlerinde sıcaklık kaymasını eski bir düşman gibi yönetmeyi öğrenirsiniz. Wafer genelinde ±3°C toleransla 90°C’de yumuşak pişirme mi? Böyle bir dağılım kritik boyut sapmasına neden olur ve daha sonra yeniden işleme olarak karşınıza çıkacak kenar boncukları bırakır. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için özel bir endüstriyel kızılötesi fab sistemi geliştirdik—süreç için gereken noktada tekrarlanabilir ısı sağlar, hava hareketi olmadan ve partikül eklemeden.

Teknik olarak önemli olan Kısa dalga kızılötesi yayıcıları hızlı ve doğrudan wafer’a tepki verecek şekilde çalıştırıyoruz, böylece hızlı ısıtma yapabilir ve gerçek kontrolle sabit tutabiliriz. Çenede termal üniformite ±0.1°C içinde kalır ve banttan banda sıcaklık tekrarlanabilirliği ±0.5°C’den daha iyidir.
Modül, sızdırmaz termal tasarım ve düşük gaz çıkışı yapan malzemeler sayesinde Class 1–100 temiz oda uyumluluğuna sahiptir. Pişirme sırasında partikül oluşumu sıfırdır. Entegre metroloji, hat voltajı değişse veya çevresel koşullar dalgalansa bile setpoint’i koruyan kapalı döngü kontrolörüne veri besler.
Sonuç olarak güvenilir bir termal bütçe elde edilir—gün be gün tutarlı yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleri.

Özel on Modern Infrared Home Heating

Özel endüstriyel kızılötesi fabrika sistemi