Özel endüstriyel kızılötesi fabrika sistemi

Wed, 10 Jun 2026 02:09:22 +0800

Fabrika katında, fotoresist işlemlerinde sıcaklık kaymasını eski bir düşman gibi yönetmeyi öğrenirsiniz. Wafer genelinde ±3°C toleransla 90°C’de yumuşak pişirme mi? Böyle bir dağılım kritik boyut sapmasına neden olur ve daha sonra yeniden işleme olarak karşınıza çıkacak kenar boncukları bırakır. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için özel bir endüstriyel kızılötesi fab sistemi geliştirdik—süreç için gereken noktada tekrarlanabilir ısı sağlar, hava hareketi olmadan ve partikül eklemeden.

Teknik olarak önemli olan Kısa dalga kızılötesi yayıcıları hızlı ve doğrudan wafer’a tepki verecek şekilde çalıştırıyoruz, böylece hızlı ısıtma yapabilir ve gerçek kontrolle sabit tutabiliriz. Çenede termal üniformite ±0.1°C içinde kalır ve banttan banda sıcaklık tekrarlanabilirliği ±0.5°C’den daha iyidir.
Modül, sızdırmaz termal tasarım ve düşük gaz çıkışı yapan malzemeler sayesinde Class 1–100 temiz oda uyumluluğuna sahiptir. Pişirme sırasında partikül oluşumu sıfırdır. Entegre metroloji, hat voltajı değişse veya çevresel koşullar dalgalansa bile setpoint’i koruyan kapalı döngü kontrolörüne veri besler.
Sonuç olarak güvenilir bir termal bütçe elde edilir—gün be gün tutarlı yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleri.

Endüstriyel wafer ısıtıcı fabrikası

Mon, 08 Jun 2026 03:00:06 +0800

Fabrika katında, fotoresist pişirme sırasında 0.3°C’lik bir sapma, bir lotun tamamının hurdaya ayrılmasına yol açabilecek çizgi genişliği sapmasına dönüşebilir. Yüksek hacimli wafer üretiminde, termal kontrol bir lüks değil—verimlilik ile hurda arasındaki çizgidir.

Motor kaputu altında önemli olan

Üretim gerçeklerine uygun, tekrarlanabilir sıcaklık performansına dayanan ve yarı iletken proses pencere sınırlarına uyan wafer ısıtıcıları geliştiriyoruz. Chuck üzerinde wafer seviyesinde ±0.1°C’lik bir uniformite hedefliyoruz ve setpoint stabilitesi, soft bake ve hard bake işlemleri boyunca sıkı kalıyor.
Tasarım, parçacık oluşumunu ve gaz çıkışını düşük tutmak için kısa dalga veya orta dalga kızılötesi ışınları ve kuvars bileşenleri kullanıyor. Temizoda uyumluluğu Class 1’den Class 100’e kadar kapsar. On binlerce saat MTBF ile 7/24 çalışma süresine güvenebilirsiniz ve bakım planlı önleyici hizmet esasına dayanır, acil onarımlara değil.

Endüstriyel on Modern Infrared Home Heating

Özel endüstriyel kızılötesi fabrika sistemi

Endüstriyel wafer ısıtıcı fabrikası

Motor kaputu altında önemli olan