На лінії довжиною 300 мм існує певна проблема: при температурі 1°C під час випалювання фоторезисту критичні розміри продукту раптово виходять за межі допусків. Ми створили систему інфрачервоних ламп з використанням вуглецевих волокон, щоб уникнути цього. Ця система замінює звичайні галогенні та кварцові джерела світла на випромінювачі з вуглецевих волокон, налаштовані на діапазон НІР. Це дозволяє досягти швидкого та рівномірного нагрівання без утворення „гарячих точок“.
Рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, а повторюваність результатів залишається в межах цього діапазону навіть після тисяч циклів. Час реакції лампи становить менше секунди, що дозволяє ефективно контролювати процес випалювання фоторезисту. Лампа може працювати в умовах класу чистоти 1–100 без жодних проблем з частинками, а також відповідає вимогам щодо низького рівня вивільнення газів, необхідним для сучасної літографії. Споживання енергії зменшується на 30% порівняно з галогеновими лампами, а термін служби випромінювача становить понад 5 000 годин при повній потужності, зі зниженням ефективності менше ніж на 5%.
Які це дає переваги на практиці? Кращий контроль критичних розмірів продукту, менше необхідності у повторній обробці, а також стабільний рівень якості продукції при постійному зменшенні розмірів чіпів. Можна використовувати більш тонкий фоторезист без жодних проблем, забезпечувати однакову поведінку матеріалу на всій поверхні пластини та уникати коливань температури між різними установками. Лампа може бути встановлена в існуючі системи обробки, використовуючи стандартні інтерфейси та процедури калібрування, тож не потрібно повторно перевіряти параметри процесу.
Встановлення лампи полягає у контролі теплового навантаження та геометрії положення лампи. Вуглецеві волокна не переносять механічних навантажень, тож під час монтажу необхідно уникати конструкцій, які створюють напругу на волокна, та забезпечити їм достатньо простору для розширення.Необхідно також провести короткий тестовий запуск, щоб визначити емісію світла в різних зонах та налаштувати параметри лампи відповідно до вимог процесу. Після налаштування лампа забезпечує необхідну стабільність протягом усього часу роботи.