300 ملی میٹر کی لائنوں پر، آپ جانتے ہی ہیں کہ کیا ہوتا ہے: فوٹوریزسٹ کو بھوننے کے دوران 1 درجہ سیلسیس کی تغیرات کی وجہ سے، مصنوعات کی اہم خصوصیات فوراً خراب ہو جاتی ہیں۔ اس صورتحال سے بچنے کے لئے ہم نے کاربن فائبر سے بنا انفراریڈ لیمپ سسٹم تیار کیا۔ اس سسٹم میں ہیلوجن اور کوارٹز جیسے روایتی ذرائع کی جگہ کاربن فائبر کا استعمال کیا گیا ہے؛ اس سے تیز اور یکساں حرارت حاصل ہوتی ہے، اور کوئی گرم نقاط پیدا نہیں ہوتے۔
یہاں وہ پہلو ہے جس کی پیمائش کی جاسکتی ہے: ویفر کی سطح پر حرارت کی یکسانیت ±0.1 درجہ سیلسیس کے اندر رہتی ہے، اور یہی حال ہزاروں بار بھی قائم رہتا ہے۔ ردِعمل کا وقت چند سیکنڈ ہی ہے، جس سے نرم اور سخت بھوننے کے عمل پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے ماحول میں بغیر کسی مسئلے کے کام کرتا ہے، اور اس میں کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ یہ جدید لیتھوگرافی عملوں کے لئے ضروری کم حرارت خارج کرنے کے معیارات کو بھی پورا کرتا ہے۔ ہیلوجن کے مقابلے میں اس کی توانائی کی کھپت 30% کم ہے، اور یہ لیمپ 5,000 گھنٹوں تک پوری کارکردگی کے ساتھ کام کر سکتا ہے، جبکہ اس کی کارکردگی میں 5% سے بھی کم کمی واقع ہوتی ہے۔
اس کا عملی فائدہ یہ ہے کہ مصنوعات کی خصوصیات پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور جیسے جیسے چپوں کا سائز کم ہوتا جاتا ہے، ان کی کارکردگی برقرار رہتی ہے۔ اس سے پتلے فوٹوریزسٹ کا استعمال ممکن ہو جاتا ہے، اور ویفر کی سطح پر حرارت کی یکسانیت برقرار رہتی ہے۔ اس کے علاوہ، اس لیمپ کو موجودہ سسٹموں میں بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، کیوں کہ اس کے لئے معیاری انٹرفیس اور کیلیبریشن روٹینز ہی کافی ہیں، لہذا عمل کو دوبارہ جانچنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔
نصب کرنے کے لئے ضروری ہے کہ حرارتی بوجھ اور نظر کی سمت کو مناسب طریقے سے سنبھالا جائے۔ کاربن فائبر کو مکانیکی دباؤ پسند نہیں ہے، لہذا اسے ایسی جگہ نصب کرنا ضروری ہے جہاں اسے مناسب جگہ مل سکے۔ پہلے اس کی کارکردگی کی جانچ کریں، اور پھر PID پروفائل کو اپنے عمل کے مطابق ایڈجسٹ کریں۔ جب یہ درست ہو جائے، تو یہ لیمپ مسلسل استعمال کے لئے موزوں ہو جاتا ہے۔