Trong quá trình nung khô, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5 độ C cũng có thể làm sai lệch các kích thước quan trọng của sản phẩm, dẫn đến việc phải vứt bỏ toàn bộ lô sản phẩm đó. Chúng tôi đã thiết kế bộ điều chỉnh công suất SCR nhằm ngăn chặn sự thay đổi nhiệt độ này ngay từ đầu, giúp cho công suất đầu ra của bóng đèn luôn ổn định – không bị ảnh hưởng bởi điện áp mạng.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật: Đây là bộ điều khiển kiểu vòng kín, kết hợp với bộ điều khiển bóng đèn được thiết kế riêng cho các loại nguồn sáng như halogen, thủy tinh, sóng ngắn, sóng trung bình và nguồn sáng từ sợi carbon. Nhờ đó, nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, và độ lặp lại giữa các lần nung khô cũng nằm trong khoảng ±0,2°C. Công suất đầu ra được kiểm soát chính xác ở mức 0,1% so với giá trị đã 설정, với thời gian phản ứng dưới 10 ms trước những thay đổi về giá trị điều chỉnh hoặc sự biến động của điện áp mạng. Thiết bị này được thiết kế để sử dụng trong môi trường sạch cấp độ 1–100; không có sự tạo ra hạt bụi nào từ hệ thống tản nhiệt, và thiết kế của nó cũng được tính toán kỹ lưỡng để tránh gây ảnh hưởng đến quá trình in ấn trên wafer.
Quá trình xử lý phim quang học – bao gồm các bước nung khô, sau khi chiếu sáng – phụ thuộc rất nhiều vào yếu tố nhiệt độ. Với bộ điều chỉnh công suất SCR, công suất của bóng đèn được duy trì ổn định, giúp đạt được các thông số kỹ thuật mong muốn mỗi lần sản xuất. Kết quả là ít phải tái sản xuất hơn, tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn cao hơn, và các thông số nhiệt độ cũng được duy trì ổn định giữa các lô sản phẩm khác nhau.
Bạn cũng sẽ tiết kiệm năng lượng, vì bóng đèn không cần phải hoạt động với công suất cao để bù đắp cho những biến động của điện áp mạng. Tuổi thọ của bóng đèn cũng được kéo dài nhờ vào điều kiện hoạt động ổn định này.
Đây là những chi tiết kỹ thuật cần biết. Bộ điều khiển cần được điều chỉnh sao cho phù hợp với đặc tính điện trở của bóng đèn ngay khi bắt đầu hoạt động; nếu không, dòng điện đột ngột tăng có thể khiến bộ bảo vệ hoạt động và ngắt kết nối. Việc lắp đặt đòi hỏi phải có đường dẫn điều khiển riêng, ít nhiễu, và bề mặt tiếp xúc cần được giữ sạch và phẳng để đảm bảo độ ổn định về nhiệt độ.
Bạn cần thực hiện một vài bước điều chỉnh ban đầu để tối ưu hóa bộ điều khiển PID cho từng loại bóng đèn và bề mặt wafer cụ thể.