Tại sao công nghệ sấy bằng tia hồng ngoại có bộ phản xạ vàng lại là giải pháp tuyệt vời để gia công chất bán dẫn hiệu quả hơn? Cách làm truyền thống...

Trong quy trình sản xuất, hiện tượng dịch chuyển nhiệt không phải là trường hợp ngoại lệ hiếm gặp. Hiện tượng này biểu hiện qua sự thay đổi chiều...

Trên một dây chuyền 300mm, bạn có thể mất tỷ lệ thành phẩm chỉ với một độ lệch 0,5°C trong quá trình nung photoresist. Kiểm soát chiều rộng đường...

Trên sàn sản xuất, một sự cố nhỏ trong quá trình soft bake có thể làm mất cả ca lithography. Nếu đèn sấy bắt đầu hoạt động kém hiệu quả, các đường...

Trên tầng lithography, đồng hồ bắt đầu tính ngay khi wafer đạt nhiệt độ. Soft bake và hard bake không chỉ là các “bước gia nhiệt.” Chúng là các bước...