লিথো ফ্লোরে, পলিইমাইড বেকিং প্রক্রিয়াটি হলো থার্মাল বাজেটকে লাইন-ওয়্যাইডথ নিয়ন্ত্রণে রূপান্তরিত করার প্রক্রিয়া। কয়েক ডিগ্রির তাপমাত্রা পরিবর্তন সাইডওয়ালের বিচ্যুতি হিসেবে প্রকাশ পায়; আর হট স্পটগুলো ওয়েফারে কণার সংখ্যা হিসেবে দেখা যায়। বেকিং প্রক্রিয়াটি অবশ্যই পুনরাবৃত্তিযোগ্য, নির্ভুল ও দ্রুত হতে হবে—প্রতিটি লটের ক্ষেত্রেই।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা এই পলিইমাইড বেকিং প্রক্রিয়াটি ইনফ্রারেড ল্যাম্পের উপর ভিত্তি করে তৈরি করেছি; এর NIR রেসপন্সটি পলিইমাইডের শোষণ ক্ষমতার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। শক্তি ঠিক সেখানেই যায়, যেখানে পলিমারটির প্রয়োজন; ফলে সাবস্ট্রেটটি ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে স্থিতিশীল থাকে; আর দীর্ঘ সময় ধরেও এই স্থিতিশীলতা বজায় থাকে। এই ল্যাম্পটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুম পরিবেশে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে; উপকরণ ও সিলগুলো এমনভাবে নির্বাচন করা হয়েছে যাতে কোনো কণা উৎপন্ন না হয়। উৎপাদনের ক্ষেত্রে এর ফলে কম রিওয়ার্ক, সুনির্দিষ্ট CD বণ্টন এবং পূর্বানুমানযোগ্য উৎপাদন হয়।
কেন এটি প্রক্রিয়ার সাথে মেলে?
পলিইমাইড সফ্ট বেকিং ও হার্ড বেকিং প্রক্রিয়াগুলো ফটোরেসিস্ট থার্মাল চেইনের মাঝখানে অবস্থিত। আমাদের ল্যাম্পটি বিদ্যমান বেকিং ট্র্যাকগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; এটা SEMI-গ্রেডের ল্যাম্প। আপনি একই প্রক্রিয়া ব্যবহার করতে পারেন; কিন্তু দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়, প্রতি ব্যাচে কম শক্তি ব্যবহৃত হয়, আর ল্যাম্পটির জীবনকালও বেশি হয়। 5,000+ ঘন্টার স্থিতিশীল কার্যকারিতা আন্তর্জাতিক মানদণ্ডের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। লাইন ইঞ্জিনিয়ারদের জন্য এর ফলে কম রিওয়ার্ক, কম রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজন হয়, আর প্রতিটি লটেই একই ধরনের বেকিং প্রক্রিয়া অনুসরণ করা যায়।
ব্যবহারিক বিবরণসমূহ
রিট্রফিট করা সহজ; কিন্তু অ্যালাইনমেন্টের ত্রুটি খুব কম হওয়া উচিত। ল্যাম্পটিকে নির্দিষ্ট হট-প্লেট জিওমেট্রিতে স্থাপন করতে হয়, যাতে তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে। বেকিং প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে সেট করার জন্য সামান্য সময় লাগে; এরপর এটাকে একটি নিয়ন্ত্রিত প্রক্রিয়া হিসেবে বিবেচনা করা যায়।