আপনার হিটিং এলিমেন্টগুলোর কারণে আপনার ওয়েফারগুলো নষ্ট হতে দেবেন না।
যদি আপনি ক্লাস 100 ক্লিনরুম ব্যবহার করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই এই সমস্যাটি সম্পর্কে জানেন। অতি ক্ষুদ্র পরিমাণের ধূলিকণা—যা দেখা যায় না—ওয়েফারের উপর পড়লেই পুরো ব্যাচটিই নষ্ট হয়ে যায়। এটা খুবই হতাশাজনক ও ব্যয়বহুল। এর কারণ হলো হিটিং এলিমেন্টগুলো থেকে নির্গত গ্যাস।
আমরা এই সমস্যার সমাধান হিসেবে আমাদের IR ল্যাম্পগুলোতে উচ্চ-বিশুদ্ধতার কৃত্রিম কোয়ার্টজ ব্যবহার করেছি।
কেন কোয়ার্টজ গুরুত্বপূর্ণ?
সাধারণ কাঁচ বা সস্তা কোয়ার্টজগুলো সেমিকন্ডাক্টর পরিবেশের উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে না। তাপ বাড়লে সেই অশুদ্ধিগুলো ভেঙে যায়। ফলে ল্যাম্পটি ধোঁয়া ছাড়তে শুরু করে। আমাদের ফিউজড সিলিকার ক্ষেত্রে এমনটা ঘটে না। আমরা ধাতব অশুদ্ধিগুলোকে খুবই কম রাখি; ফলে ল্যাম্পটি পরিষ্কার থাকে। এছাড়া, এটা রাসায়নিকভাবে নিরপেক্ষ। আপনি যে গ্যাসগুলো ব্যবহার করছেন, এটা সেগুলোর সাথে কোনো বিক্রিয়া করে না।
ঠিক সেই জায়গায় তাপ পৌঁছানো
আপনার ওয়েফারকে দ্রুত উত্তপ্ত করা দরকার। কিন্তু ওয়েফারের চারপাশের বাতাসকে উত্তপ্ত করতে চান না।
আমাদের ল্যাম্পগুলো শর্ট-ওয়েভ রেডিয়েশন ব্যবহার করে। এটা সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে আঘাত করে। এর ফলে ফ্লোরের ধূলিকণাগুলো ওয়েফারের দিকে যায় না।
আপনি আপনার চাহিদা অনুযায়ী ওয়াটেজ ও ভোল্টেজ নির্ধারণ করতে পারেন। উচ্চ ওয়াটেজ ব্যবহার করলে চেম্বারের জায়গা সাশ্রয় হয়। তবে মনে রাখবেন: খুব বেশি শক্তি সরাসরি টিউবের মধ্য দিয়ে পাঠালে অনেক তাপ উৎপন্ন হয়। আপনার কুলিং সিস্টেমটি যেন এই চাপ সামলাতে পারে; নইলে আপনার কানেক্টরগুলো নষ্ট হয়ে যাবে।
সহজ প্রতিস্থাপন, কম সমস্যা
কেউই ঘণ্টার পর ঘণ্টা মেনটেন্যান্স করতে চায় না। আমরা বিভিন্ন ধরনের এন্ড-ক্যাপ অফার করি; যাতে চেম্বারে কোনো লিক না হয়।
যখন কোনো ল্যাম্প নষ্ট হয়ে যায়, তখন আপনি শুধুমাত্র সেটিকে বের করে নতুনটি লাগালেই হয়। আপনাকে পুরো র্যাকটি পুনর্সংযোগ করার বা সেই এলাকাটি পরিষ্কার করার দরকার নেই। এটা খুবই দ্রুত ও সহজ।